一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価

最終更新日: 2023-04-20 16:41:27.0
フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域(数100nm)から深い領域(数100μm)までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。
一例として、市販品のSi-IGBTチップを解体し、チップ全体/フィールドストップ層/ライフタイムキラーの深さ方向濃度分布評価と、ライフタイムキラー照射深さにおける抵抗値の面内分布評価をSRAで行った事例をご紹介いたします。

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用途/実績例 電子部品・パワーデバイスの分析です

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