一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

最終更新日: 2017-04-06 13:04:53.0
TDS:昇温脱離ガス分析法

TDSは高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス(単原子層レベル)についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱離したガスの分子数も算出可能です。
代表的な材料別にTDSを適用した例をご紹介します。

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用途/実績例 ディスプレイ・酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品の分析です

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