一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析

最終更新日: 2017-09-21 13:09:00.0
最表面、単原子層の水素をTDSで評価可能です

TDSは試料を昇温し、脱離したガスをイオン化して質量分析を行う手法です。高真空中(1E-7 Pa)で、質量電荷比(m/z) 2~199について分析可能です。
今回は水素終端処理を施したSiチップについて、TDS分析を実施した例をご紹介します。TDSにて、水素終端の水素の脱離を捉えることができました。

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用途/実績例 LSI・メモリの分析です

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