一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】イメージセンサの拡散層形状評価

最終更新日: 2023-04-20 17:03:22.0
試料解体から測定まで一貫して対応します

本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。
半導体のp/n型を判定可能なSCM(走査型静電容量顕微鏡)を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。
SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。

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