一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析

最終更新日: 2022-11-25 16:45:20.0
像シミュレーションを併用した結晶形の評価

高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。
本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報からSTEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します。

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用途/実績例 LSI・メモリ・パワーデバイス・光デバイス・太陽電池・二次電池・酸化物半導体の分析です

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