一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】低分子シロキサンの定量分析

最終更新日: 2019-10-09 09:32:56.0
アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します

シリコーン製品からアウトガスとして発生するシロキサンは、揮発しやすく基板等に付着しやすい成分です。シロキサンが付着すると、光学系レンズの曇り、膜の剥離や密着不良、リレー回路の接点障害などの悪影響が出ることが知られており、シロキサンのアウトガス量を調査しておくことは重要です。
本資料では、シリコンチューブを200℃で加熱した際の環状ジメチルシロキサンの発生量を調査した事例を紹介します。。

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用途/実績例 LSI・メモリ・パワーデバイスの分析です

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