TEM(透過電子顕微鏡法)は、薄片化した試料に電子を照射し、
試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。
MSTでは、TEMの特徴や試料作製方法など基礎知識を掲載した『TEMの基礎』と
代表的な分析事例や他手法との複合解析例などを掲載した『TEMの応用と事例』を進呈中!
写真や図を用いてわかりやすく紹介した資料です。
【掲載内容(一部)】
<TEMの基礎>
■TEM、STEMで何がわかるか ■TEM、STEMの特徴
■試料作製方法 ■コントラストの要因
■TEM、STEMの使い分け ■超高分解能HAADF観察
<TEMの応用と事例>
■分析事例
・雰囲気制御&冷却下でのTEM分析
・SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価
・微細トランジスタの構造評価
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(ダウンロードいただけるPDF資料は冒頭の数ページとなります)
基本情報
当社では、TEMによる分析をはじめ、様々な受託分析サービスを行っています。
貴社にお伺いし、本資料を元に訪問セミナーを実施することも可能です。
詳しくはお問い合わせください。
※同業の分析会社、及びその関連会社の方は、お申し込みをお断りすることがおります。あらかじめご了承ください。
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