一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

最終更新日: 2022-11-18 16:01:28.0
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。
主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。
各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。
(クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)

基本情報

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用途/実績例 測定法:XPS
製品分野:LSI・メモリ・電子部品
分析目的:化学結合状態評価・組成評価・同定

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