最終更新日:
2023-03-27 17:00:25.0
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。
電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM(Automated Crystal Orientation Mapping)-TEM法とも呼ばれます。
結晶粒径解析が可能
測定領域の配向測定が可能
双晶粒界(対応粒界)の観察が可能
特定結晶方位の抽出が可能
隣接結晶粒の回転角の測定が可能
数nm以上の結晶粒を評価可能
基本情報
TEM試料に電子線を入射すると、TEM試料内に存在する結晶によって透過方向に電子回折パターンが形成されます。このパターンを連続的に取得・解析することで、各結晶粒の方位情報が得られます。
※TEM試料の厚みを薄膜化することにより、より小さい結晶粒を評価できます。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・多結晶薄膜の結晶粒径評価 ・アモルファス中に存在する結晶の粒径評価 ・結晶配向性評価 |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 【測定法】質量分析法
- 【測定法】光電子分光法
- 【測定法】電子顕微鏡観察・分析
- 【測定法】振動分光
- 【測定法】X線回折関連
- 【測定法】SPM関連
- 【測定法】故障解析
- 【測定法】そのほかの測定法
- 【加工法・処理法】
- その他のサービス・サポート情報
- 【分析事例】LSI・メモリ
- 【分析事例】光デバイス
- 【分析事例】太陽電池
- 【分析事例】燃料電池
- 【分析事例】ディスプレイ
- 【分析事例】酸化物半導体
- 【分析事例】パワーデバイス
- 【分析事例】電子部品
- 【分析事例】二次電池
- 【分析事例】照明
- 【分析事例】製造装置・部品
- 【分析事例】バイオテクノロジ
- 【分析事例】化粧品
- 【分析事例】食品
- 【分析事例】医薬品
- 【分析事例】医療機器
- 【分析事例】日用品
- 【分析事例】環境
- 【分析事例】その他
- MSTが出展した展示会の資料
- すべての製品・サービス