一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

最終更新日: 2023-03-27 17:00:25.0
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM(Automated Crystal Orientation Mapping)-TEM法とも呼ばれます。

結晶粒径解析が可能
測定領域の配向測定が可能
双晶粒界(対応粒界)の観察が可能
特定結晶方位の抽出が可能
隣接結晶粒の回転角の測定が可能
数nm以上の結晶粒を評価可能

基本情報

TEM試料に電子線を入射すると、TEM試料内に存在する結晶によって透過方向に電子回折パターンが形成されます。このパターンを連続的に取得・解析することで、各結晶粒の方位情報が得られます。

※TEM試料の厚みを薄膜化することにより、より小さい結晶粒を評価できます。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・多結晶薄膜の結晶粒径評価
・アモルファス中に存在する結晶の粒径評価
・結晶配向性評価

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST