最終更新日:
2023-05-15 11:37:48.0
「多くの元素を感度よく測りたい!」というご要望にお応えします。 主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。
グロー放電質量分析計(GDMS)による新サービスを5/15(月)より開始しました。
・主成分からppbレベルの微量成分までの70元素以上の同時分析が可能
・従来困難であったC,N,Oをppmレベルで検出
・nm~数十µm以上の深さ方向分析が可能
基本情報
ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。
一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたいという分析ニーズも増えてきています。そこで、MSTは前処理を不要とするGDMSを導入し、新たな不純物分析サービスを開始いたします。
また、内製化によるサービスのリニューアルとなりますので、従来より短納期でデータのご報告が可能となります。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | <適用例> ・ワイドギャップ半導体分野 SiC、GaN、Ga2O3中の不純物分析 ・バッテリー分野 リチウム二次電池正極シートの活物質の元素分析 ・セラミックス分野 アルミナパウダーの不純物分析 ・鉄鋼業 不純物分析による純度評価 |
お問い合わせ
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