最終更新日:
2023-11-30 12:14:14.0
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT(High Electron Mobility Transistor)」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層(2DEG)が得られ、電子移動度が高くなります。その特性を用いて急速充電器などで活用されています。
本資料では、ノーマリーオフ型のGaN HEMTデバイスを解体・評価しました。
分析手法を複合的に活用し、試料の総合的な知見を収集した事例をご紹介いたします。
測定法:SIMS・TEM・SCM・SMM
製品分野:パワーデバイス
分析目的:微量濃度測定・形状評価・膜厚評価・構造評価・製品調査
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