一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

SIMS分析データの再現性

最終更新日: 2024-04-18 10:34:46.0
再現性の高い不純物量評価が可能です

半導体デバイスの製造において、ドーパント等の不純物の制御は重要な工程となります。
イオン注入に着目した場合、僅かな差が品質や性能に影響を及ぼすため、正確な制御が必要となります。SIMS分析の高い再現性は、それらの開発・維持管理に最適です。

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