一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

白色干渉計測法

最終更新日: 2016-02-12 11:31:31.0
非接触・非破壊で3次元測定可能

白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)三次元測定が可能な装置です。

・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置
・非接触・非破壊で三次元測定が可能
・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm)
・高垂直分解能(0.1nm)
・広いダイナミックレンジ(<150μm)

基本情報

走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)3次元測定可能な手法です。

価格情報 -
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用途/実績例 ・半導体など
 ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ
 欠陥・異常部の観察
 加工形状観察(パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS)
・金属
 ボールベアリング・ボンディング(ハンダ)表面形状
 ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状
 めっき表面の粗さ・摩擦面の観察
・その他の素材
 切断面の観察
 ガラス・光学部品・電気部品の形状観察

詳細情報

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