［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

最終更新日: 2016-02-18 13:38:29.0

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析

EELS分析とは、電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。
TEMに付属している元素分析装置（EDX)と比較して、下記の特徴があります。

・EDXに比べて軽元素の感度が良い
・EDXに比べてエネルギー分解能が高い
・EDXに比べて空間分解能が高く、周辺情報を検出し難い
・元素によっては化学状態分析が可能

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基本情報

EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。

EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。
１：ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子
２：価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移
３：内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる

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用途／実績例	■微小領域（0.2nm～1μm）の組成分析・面分析・定性分析－軽元素、遷移元素の評価・元素の化学状態評価－カーボンの結晶質/非晶質－相転移、化合物の結合状態評価・試料の厚み評価

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