最終更新日:
2016-02-18 13:42:34.0
高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能
・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能
・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる
・金属結晶粒観察が可能(Al, Cu等)
・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm, SEM:0.5nm)
■MST所有装置の特徴
・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能
・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能(Slice&View)
基本情報
固体試料にイオンビームを照射すると二次電子が発生します。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じます。この像を走査イオン顕微鏡(Scanning Ion Microscope: SIM)像といいます。
電子線照射によってもこのようなコントラスト像が得られますが、イオンビームの方が顕著に現れます。
金属多結晶のSIM像を観察することで結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・通電経路の可視化断面観察(導電性コントラスト) ・Al, Cu, Feなどの結晶粒観察(チャネリング像) ・多角傾斜による結晶粒径解析 |
詳細情報
まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。
◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説
03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。
◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説
03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 【測定法】質量分析法
- 【測定法】光電子分光法
- 【測定法】電子顕微鏡観察・分析
- 【測定法】振動分光
- 【測定法】X線回折関連
- 【測定法】SPM関連
- 【測定法】故障解析
- 【測定法】そのほかの測定法
- 【加工法・処理法】
- その他のサービス・サポート情報
- 【分析事例】LSI・メモリ
- 【分析事例】光デバイス
- 【分析事例】太陽電池
- 【分析事例】燃料電池
- 【分析事例】ディスプレイ
- 【分析事例】酸化物半導体
- 【分析事例】パワーデバイス
- 【分析事例】電子部品
- 【分析事例】二次電池
- 【分析事例】照明
- 【分析事例】製造装置・部品
- 【分析事例】バイオテクノロジ
- 【分析事例】化粧品
- 【分析事例】食品
- 【分析事例】医薬品
- 【分析事例】医療機器
- 【分析事例】日用品
- 【分析事例】環境
- 【分析事例】その他
- MSTが出展した展示会の資料
- すべての製品・サービス