ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
【製品の特長】
■ ポンプ本体の振動値を1nm以下に抑えることに成功! ※弊社測定方法による
■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減!
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
■ ポンプ本体の振動値を1nm以下に抑えることに成功! ※弊社測定方法による
■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減!
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報 |
****** お気軽にお問い合わせください。 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※ お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 |
■ EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装置 ■ 高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など |
関連ダウンロード
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社大阪真空機器製作所