株式会社大阪真空機器製作所

極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ

最終更新日: 2022-04-12 11:49:01.0

  • カタログ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。

【製品の特長】
■ ポンプ本体の振動値を1nm以下に抑えることに成功! ※弊社測定方法による
■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減!

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報 ******
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用途/実績例 ■ EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装置
■ 高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など

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