最終更新日:
2023-08-28 13:56:46.0
非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。
新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。
【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um)
■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
■半導体業界で豊富な実績
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【その他の特長】
■測定レンジ：
32μm～3900μm (n=1, 線形性1um)
16μm～1900μm (n=1, 線形性0.35um)
■分解能：最大1nm(n=1)
■測定周波数: 70kHz
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | CHRocodile 2 LR ver2 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■Siなど等半導体ウェハー厚み測定 フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の 厚み測定やドープウェハー測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
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