最終更新日:
2022-03-30 14:58:50.0
「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの測定チャネルを搭載しております
研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。
非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり
ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター
されるため、ソリューションとして好適です。
当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの
測定チャネルを搭載しています。
センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム
に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。
【特長】
■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、
過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現
■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定
■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、共焦点、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ダイシング溝、フリップチップ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単 |
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