最終更新日:
2022-03-30 14:39:19.0
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。
『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。
【特長】
■広範囲のエリアスキャン ~φ80mm
■高分解能 XY6.5um~, Z 1nm~
最小ビームスポット径13um, 分光干渉方式による高Z分解能
■XYステージ不要でステージ振動無し
ガルバノミラーによるエリアスキャン
■開発コスト低減、開発納期短縮
装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり
■用途
FPD,LCD用ガラス基板の厚み測定、ウエハのワープ（歪み）測定、レンズ形状検査、
PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定など
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【半導体アプリケーション】
■高速BGA計測
■高速基板検査
■高速ウェハー厚み計測
■高速反り計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、計測、測定、検査、高速、3次元、エリアスキャン、全面、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、溶接部、ガラス、PCB、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
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