最終更新日:
2022-03-30 14:38:09.0
XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。
『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン
システムを結合したスキャナです。
80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。
定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。
また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。
【特長】
■超高速光学スキャン
■測定対象物と光学センサーは固定
■XYステージ不要
■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【アプリケーション】
■家電（スマートフォン）
・等角のコーティングの厚み
・トポグラフィー
■半導体
・高速BGA計測
・高速基板検査
・高速ウェハー厚み計測
・高速反り計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、計測、測定、検査、高速、3次元、エリアスキャン、全面、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、溶接部、ガラス、PCB、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
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