走査電子顕微鏡用試料作製に最適！ 試料作製の煩わしさを解消します。
「SC-701AT」は、全自動コーターです。
排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。
走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。
【特長】
○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製
○プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能
○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【仕様】
○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ
○試料台サイズ：φ70ｍｍ（高さ調節範囲 - 15／20／60ｍｍ）
○排気操作：全自動
○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型
○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付）
○高圧電源：1kV／0～20mA
○到達圧力：10Pa
○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製）
○ガス導入機構：ニードルバルブ
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L／min（自動リーク付）
○設置電源：単相 AC100V±10％ 50/60Hz 10A
○寸法・重量
→本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg
→RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ
○試料台サイズ：φ70ｍｍ（高さ調節範囲 - 15／20／60ｍｍ）
○排気操作：全自動
○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型
○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付）
○高圧電源：1kV／0～20mA
○到達圧力：10Pa
○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製）
○ガス導入機構：ニードルバルブ
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L／min（自動リーク付）
○設置電源：単相 AC100V±10％ 50/60Hz 10A
○寸法・重量
→本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg
→RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg
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| 型番・ブランド名 | QUICK AUTO COATER SC-701AT |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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