株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

乾式散布装置「ドライスペーサー散布装置」

最終更新日: 2023-01-16 01:12:38.0
数百nm〜数十μmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現します。

液晶パネル製造におけるスペーサ散布工程のドライ散布技術を発展させた、ナノ粒子にも対応可能な粒子の分散・散布装置です。

散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行います。ノズルは固定式のマルチプレクサーノズルを使用し、ノズルを動かすことなく、各方向へ均一に粒子を散布します。また、壁面への高電圧を印加することで、粒子の壁面付着を抑え、粒子の利用効率を改善するとともに、大きなサイズのワークにおいても均一な分散性能を確保します。
100〜200mm角程度の研究開発用途からG6サイズ等の量産装置まで対応します。(クラスタークリーナー、検査装置などを組合せたインライン装置のご提案・製造も対応可能です。)

20〜30μmなどの大粒径スペーサーの散布、調光ガラス、スマートガラスなどのプロセスにも対応可能。粒子の入手などについてもご相談ください。

※詳しくはお問い合わせください。

基本情報

卓上型 乾式散布装置 δ−1(デルタワン)

基本構成

1 散布チャンバー
   チャンバー   ✕ 1式
   高圧ユニット  ✕ 1式(※オプション)
    調整範囲 ±1〜10kv

2 秤量ユニット
   秤量器     ✕ 1式
   ホッパー    ✕ 1式(粒子収容器)
   エアー機器   ✕ 1式
   操作パネル   ✕ 1式
   制御部     ✕ 1式
    コントロールボード内蔵

3 粒子圧送用SUS配管 (増幅部・帯電センサー付)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■液晶ディスプレイ材料用 試作装置
■各種粒子の分散・散布(100nm〜)
■アルミナ・シリカ・各粒子の散布
■粒子の積層コーティング
■粒子の定量散布
■建築用液晶ガラス向け製造
■調光ガラス・スマートガラスなどの研究開発・製造

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