液晶パネル製造におけるスペーサ散布工程のドライ散布技術を発展させた、ナノ粒子にも対応可能な粒子の分散・散布装置です。
散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行います。ノズルは固定式のマルチプレクサーノズルを使用し、ノズルを動かすことなく、各方向へ均一に粒子を散布します。また、壁面への高電圧を印加することで、粒子の壁面付着を抑え、粒子の利用効率を改善するとともに、大きなサイズのワークにおいても均一な分散性能を確保します。
100〜200mm角程度の研究開発用途からG6サイズ等の量産装置まで対応します。(クラスタークリーナー、検査装置などを組合せたインライン装置のご提案・製造も対応可能です。)
20〜30μmなどの大粒径スペーサーの散布、調光ガラス、スマートガラスなどのプロセスにも対応可能。粒子の入手などについてもご相談ください。
※詳しくはお問い合わせください。
基本情報
卓上型 乾式散布装置 δ−1(デルタワン)
基本構成
1 散布チャンバー
チャンバー ✕ 1式
高圧ユニット ✕ 1式(※オプション)
調整範囲 ±1〜10kv
2 秤量ユニット
秤量器 ✕ 1式
ホッパー ✕ 1式(粒子収容器)
エアー機器 ✕ 1式
操作パネル ✕ 1式
制御部 ✕ 1式
コントロールボード内蔵
3 粒子圧送用SUS配管 (増幅部・帯電センサー付)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■液晶ディスプレイ材料用 試作装置 ■各種粒子の分散・散布(100nm〜) ■アルミナ・シリカ・各粒子の散布 ■粒子の積層コーティング ■粒子の定量散布 ■建築用液晶ガラス向け製造 ■調光ガラス・スマートガラスなどの研究開発・製造 |
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