最終更新日:
2023-01-16 01:06:48.0
1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能!省スペースなので研究開発に好適
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置です。
1つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。
単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。
【特長】
■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える
■被洗浄対象ウエハ:シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径 :φ2”~φ4” φ6”~φ8”
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
- 研磨装置 POLISHER
- 洗浄装置 WET CLEANER
- 散布装置 SPACER SPRAYER
- 静電気除去装置 LINE IONIZER
- 検査装置 INSPECTION
- 高圧パルスジェット DP-GUN
- すべての製品・サービス