株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」

最終更新日: 2023-01-16 01:06:48.0
1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能!省スペースなので研究開発に好適

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置です。
1つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。
単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。

【特長】
■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える
■被洗浄対象ウエハ:シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径  :φ2”~φ4” φ6”~φ8”

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。

基本情報

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■各種ウェハー洗浄

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