各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置
◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型
◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、
各種ウェハに対応
◇ 異物(有機物・無機物)の除去、金属イオンの除去
◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
基本情報
< 洗浄工程 >
・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄
・ 薬液スプレー
・ メガソニックスポットシャワー
・ スピン乾燥
< 洗浄対象物 >
各種ウェハ
・ Si(シリコン)
・ 石英
・ 酸化物
・ 化合物等
< 対応ウエハ口径 >
・ φ2”~φ4”
・ φ6”~φ8”
< その他 >
単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、
ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、
複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。
洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■各種ウェハー洗浄 |
お問い合わせ
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