株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

最終更新日: 2023-01-16 12:41:15.0
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置

◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型
◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、
  各種ウェハに対応
◇ 異物(有機物・無機物)の除去、金属イオンの除去
◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。

基本情報

< 洗浄工程 >

 ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄
 ・ 薬液スプレー
 ・ メガソニックスポットシャワー
 ・ スピン乾燥

< 洗浄対象物 >

 各種ウェハ
 ・ Si(シリコン)
 ・ 石英
 ・ 酸化物
 ・ 化合物等

< 対応ウエハ口径 >

 ・ φ2”~φ4”
 ・ φ6”~φ8” 


< その他 >      

 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、
 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、
 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。
 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■各種ウェハー洗浄

お問い合わせ

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