最終更新日:
2023-05-24 10:57:43.0
スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置
■装置概要
スラリーを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置
■用途例
鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄
■対象物
・薄い材料150~200μに好適
・各種ウェハ:化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック
対応
実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。
オリフラ対応(Vノッチは出来ません)
自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。
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