株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)

端面鏡面加工装置

最終更新日: 2023-05-24 10:57:43.0
スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置

■装置概要
  スラリーを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置

■用途例
  鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄

■対象物
 ・薄い材料150~200μに好適
 ・各種ウェハ:化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック
対応

実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。
オリフラ対応(Vノッチは出来ません)
自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。

基本情報

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■各種ウェハー研磨

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