ステージに計測対象をセットするだけで、ステージ上のワーク全体を検査します。
◎可動範囲 x 方向 300mm y 方向 300mm z 方向 100mm
◎繰り返し位置決め精度 ±0.01mm
◎検査対象サイズ 最大 横300mm 最大 縦400mm
◎ステージ可搬重量 最大20kg
◎移動速度 1 ~ 250mm/sec
◎可動範囲 x 方向 300mm y 方向 300mm z 方向 100mm
◎繰り返し位置決め精度 ±0.01mm
◎検査対象サイズ 最大 横300mm 最大 縦400mm
◎ステージ可搬重量 最大20kg
◎移動速度 1 ~ 250mm/sec