常陽工学株式会社

真空重ね合せ装置 真空貼合装置

最終更新日: 2024-04-03 10:46:04.0
真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。

ガラス基板等の仮固定用にUVランプを装備しております。

基本情報

基本仕様

基板サイズ
Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm

重ね合せ精度
10μm以下(パターンピッチ公差含まず)

真空チャンバー
真空度10Pa以下

加圧力
Max 1,000kgf (ロードセルにより検出)

ガラス基板固定
静電チャック方式

加熱機構
上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度)

装置寸法·重量
本体
1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg
ラック
650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ガラス基板等の重ね合わせ

お問い合わせ

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