最終更新日:
2024-04-03 10:46:04.0
真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。
ガラス基板等の仮固定用にUVランプを装備しております。
基本情報
基本仕様
基板サイズ
Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm
重ね合せ精度
10μm以下(パターンピッチ公差含まず)
真空チャンバー
真空度10Pa以下
加圧力
Max 1,000kgf (ロードセルにより検出)
ガラス基板固定
静電チャック方式
加熱機構
上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度)
装置寸法·重量
本体
1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg
ラック
650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ガラス基板等の重ね合わせ |
お問い合わせ
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常陽工学株式会社