最終更新日:
2024-04-15 16:31:08.0
真空引きから大気開放までの間、ワークの状態変化を観察しました。
観察した結果、ワークの状態変化に顕著な違いが見られました。
基本情報
卓上真空貼合装置は、研究開発(要素技術)に最適!です。
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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常陽工学株式会社