最終更新日:
2024-04-03 10:36:31.0
インライン機から、カセットローダー・アンローダーを備えたスタンドアローンタイプまで様々なタイプを有しています。
それぞれの基板は各ロボットにより圧着部へ移載され、オートアライメントを行い圧着します。圧着後、再度アライメントを行い、UV照射によりUV材を硬化させ、仮固定し、下流へ排出します。ウェハー等多種の基板に対応し、インライン機から、カセットローダー・アンローダーを備えたスタンドアローンタイプまで様々なタイプを有しています。
基本情報
基本装置は、投入された上基板・下基板を高精度なアライメントを行い、貼り合せ、排出するインライン装置です。
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常陽工学株式会社