最終更新日:
2023-11-24 16:46:46.0
G5・G6・G7・GB基板対応 大型ラビング装置/ラビング装置
本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、 ラピングを行うインライン装置です。
ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、
メンテナンス性等の運動特性が 損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラピングを可能としました。
基本情報
高精度・低振動
●ダイレクトドライブ駆動 特許出願中 振動発生源を無くし、高精度の制御を実現
●スピンドル構造 特許出願中 ラビングローラーの撓みを低減
●ハイブリッドラビングローラー 特許出願中 複合素材の採用により、軽量・高精度を達成
静電気対策
●非導体材質の採用 静電気発生を従来の1/100以下に軽減
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 別途ご相談に応じます。 |
詳細情報
大型ラビング装置
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常陽工学株式会社
