常陽工学株式会社

JOYO 基礎評価公開動画 卓上真空貼合装置

最終更新日: 2024-04-25 10:59:55.0
卓上真空貼合装置は、上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察が可能です。

本来の卓上真空貼合装置の使い方ではないのですが、卓上真空貼合装置にワークを入れて、真空引きと大気開放によるワークの形状変化を観察してみました。
https://www.youtube.com/playlist?list=PLsbCB5W1XyPj14SP0r-EosEelJot9l4Hx

基本情報

・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。

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用途/実績例 用途:研究開発(要素技術)
実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等

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