最終更新日:
2024-04-25 10:59:55.0
卓上真空貼合装置は、上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察が可能です。
本来の卓上真空貼合装置の使い方ではないのですが、卓上真空貼合装置にワークを入れて、真空引きと大気開放によるワークの形状変化を観察してみました。
https://www.youtube.com/playlist?list=PLsbCB5W1XyPj14SP0r-EosEelJot9l4Hx
基本情報
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等 お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
常陽工学株式会社