最終更新日:
2023-11-24 16:44:08.0
大型基板への対応と装置コストの低減を目的としています。
常陽工学はLCDセルギャップ形成装置のトップメーカーとして、各種材料とプロセス条件に対応した
多くの特殊装置を製作してきた経験に基づき、新方式の「有機EL用封止装置」を開発しました。
特徴として、この装置は今後の大型基板への対応と装置コストの低減を目的としています。
基本情報
装置の内容と仕様
●石英ガラスの代わりとして、UV光透過フィルムを使用した真空2重チャンバーを形成することにより基板に対して、大気加圧の状態でUV照射(UV硬化樹脂の硬化)が可能です。
●フレキシブルフィルムを使用する事と、DAM剤に加わる圧力コントロールが容易になる事により、DAM剤とFILL剤に関係した最適なプロセス条件出しが可能となります。
また、基板全面に均一な加圧ができる事によりギャップ精度の良い製品が製作可能です。
●主な装置仕様
・基板投入取出:ゲートバルブの開閉、ロボットハンド、基板受取り機構
・基板位置合せ基板外形によるアライメント(オプション:自動/手動アライメント)
・装備:UV照射ランプ、マスク機構、真空ポンプ
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 有機EL |
お問い合わせ
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常陽工学株式会社
