『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる
品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。
ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により
優れたガス置換特性を実現。
最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに
対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。
【特長】
■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現
■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による
加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現
■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及
#空圧
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■ストレートタイプ
■分流タイプ
■ツーステップバルブ
■高温(250℃)対応バルブ
■LOTOバルブ
■クイックターンバルブ
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