最終更新日:
2023-01-06 13:37:44.0
デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベローズバルブ
『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を
持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした
ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。
ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。
高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても
対応できます。
【特長】
■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現
■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能
■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても対応可能
■独自のシート形状により、ディスクからのパーティクル発生の低減、
耐久性の向上を計っている
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■サイズ：IB4（1/4"）/IB6（3/8"）・IB8（1/2"）
■使用最高圧力：0.98MPa（G）
■環境温度範囲：-10 ～ 60℃
■操作圧力：0.4 ～ 0.7MPa（G）
■作動耐久性（N2 封入試験当社実績）：自動弁100万回 手動弁10万回
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