最終更新日:
2023-05-12 13:31:21.0
半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ！
『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる
シンプルな構造を持った遮断弁です。
シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、
バルブ取り付け作業が容易。
スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより
開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。
【特長】
■コンパクト化・軽量化
■バルブ取り付け作業が容易
■最小の面間寸法により設置スペースの問題を解決
■固定ネジにより任意の開度で設定できる
■差動ネジ機構による微小調整ができる
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様（一部）】
■サイズ：25A、50A、80A、100A
■オリフィス（mm）：φ33、φ51.3、φ78、φ100
■弁座耐差圧：0.101MPa（正逆圧）
■使用流体温度範囲：-15～100℃
■作動耐久回数：大気状態で10万回実績
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