最終更新日:
2023-03-29 16:43:20.0
チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。
新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの
ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、
反応室を汚染しにくい構造です。
シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を
実現しました。
【特長】
■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能
■低真空から高真空まで圧力調整が可能
■新開発のシートリング機構を採用
■高耐久：全開・全閉動作 300万回
■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減
■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■バルブ開閉
・シートリングが手前に動いた後、フラッパーが回転して開閉
■スロー排気
・シートリングが矢印方向に動くことで、フラッパーとの間に隙間ができ、排気
■調圧
・シートリングとフラッパーの複合動作により、低真空から高真空まで優れた圧力調整が可能
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