当製品は、全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。
アクチュエーター上部ローレット付黒ハンドルを回転させることにより、
流量調整可能となり1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持ちます。
これにより、配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減を
可能としました。
【特長】
■可変流量バリアックタイプ
■1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持つ
■配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能
■高温仕様(最高使用温度180℃)も製作できる
■別途専用加熱ヒーター(ホットシェル)もご用意
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(抜粋)】
■サイズ:IB4V(1/4")/IB6V(3/8")・IB8V(1/2")
■ディスク材質:PCTFE、O リング(フッ素ゴム)
■Cv値:調整範囲:0.03 ~ 0.28/調整範囲:0.05 ~ 0.74
■使用最高圧力:0.98MPa(G)
■環境温度範囲:-10 ~ 60℃
■操作圧力:0.4 ~ 0.7MPa(G)
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株式会社キッツエスシーティー