『FCDT』は、200℃流体に対応できるWET系バルブです。
自動弁はインジゲータ(開閉表示)を標準装備しており、
手動弁はLOTO(鍵)機構付で安全対策にも使用可能。
また、手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を
採用し、全開だけでなく中間開度(2段階)を設定出来ます。
【特長】
■200℃流体に対応
■自動弁はインジゲータ(開閉表示)を標準装備
■手動弁はLOTO(鍵)機構付で安全対策にも使用可能
■手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を
採用し、全開だけでなく中間開度(2段階)を設定出来る
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様(一部)】
■流体温度(℃):20℃~200℃
■周囲温度(℃):20℃~80℃
■耐圧(MPa):0.5MPa
■使用圧力範囲(MPa)
・正圧:0~0.2MPa(G)
・逆圧:0~0.1MPa(G)
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