最終更新日:
2022-11-18 15:09:06.0
半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブ
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、
低コスト化を考慮したL型真空バルブです。
極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、
容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。
ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。
【特長】
■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能
■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB）
■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL）
■ベローズシール構造により高いリーク性能を有する
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■使用温度：-15～100℃（アクチュエーターはMax70℃）
■使用圧力：1×10^-6～2×10^5 Pa（abs）[0.1MPa（G）]
■標準材質
・ボディ：SUS304
・ベローズ：SUS316L
・アクチュエーター：A6063（磁気近接スイッチ用マグネット内蔵）
・シート：フッ素ゴム※表記以外の材質も対応可
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