最終更新日:
2023-05-12 13:29:07.0
半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！
『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を
流体として使用できるダイヤフラムバルブです。
バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、
シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。
また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに
対応可能です。
【特長】
■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能
■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能
■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効
■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通
■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■サイズ：WD4（1/4"）
■Cv値：手動弁0.3/自動弁0.23
■接ガス部内容積：3.2cm3（ストレート弁、CVCオス、OPEN状態）
■環境温度範囲：-10℃～ 60℃
■操作圧力（自動弁）：0.5 ～ 0.7MPa（G）
■作動耐久性（N2 封入試験当社実績）：3万回
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
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