最終更新日:
2023-05-12 13:21:52.0
「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を
受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。
各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。
洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用
製造装置等へご使用いただけます。
【特長】
■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施
■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現
■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現
■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能
＃空圧
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【製品材質】
■ボディ：SUS316L
■シート：PCTFE
■ダイヤフラム：コバルト合金
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体、FPD、LED用製造装置等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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