株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

最終更新日: 2023-05-12 10:54:27.0
半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用
ダイレクトダイヤフラムバルブです。

従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い
低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し
コンパクト化しています。

高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい
ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。

【特長】
■封入ガス圧20.6MPaに対応
■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現
■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている
■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【製品材質】
■ボディ:SUS316L、SUS316LE(二重溶解材)
■シート:PCTFE
■ダイヤフラム:コバルト合金

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■ガスライン(シリンダーキャビネット、BSGS)
■装置内配管 など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社キッツエスシーティー

製品・サービス一覧(74件)を見る