最終更新日:
2023-05-12 13:36:21.0
NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！
『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な
真空フランジ ボールバルブです。
手動弁と自動弁をご用意。
ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを
使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。
フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する
効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。
＃副生成物対策
【特長】
■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制
■CVD装置などの排気ラインに好適
■ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用
■最高流体温度200℃まで使用できる
■分解・洗浄・パッキン類の交換が可能
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■使用流体温度：－10～200℃
■使用圧力：1Ｘ10^-6Pa(abs)～6Ｘ10^5Pa(abs)[0.5MPa(G)]
■標準材質
・ボディ・フランジ：SCS13A
・ボール：SUS304
・ステム：SUS304
・ボールシート：ハイパタイトPTFE
・パッキン・ガスケット：PTFE
■操作圧力：0.4～0.7MPa(G)
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