最終更新日:
2023-05-12 10:16:41.0
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、
シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。
【特長】
■お客様自身でバルブシート交換が可能！
バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。
※メンテナンス後は製品保証外となります
■高温環境下で使用可能！
流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。
『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。
■PFAシート採用による耐久性能の向上
メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※
※当社実績値比較
※メタルシート：5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート：80万回
当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい
基本情報
【仕様】
■サイズ：1/4" 1/2"
■駆動方法：自動 手動（ZD-Kのみ）
【製品材質】
■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材）
■シート：PFA
■ダイヤフラム：コバルト合金
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | 当社ホームページまでお問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■高純度の材料容器 ※クリーニング可能：今まで材料容器を使い捨てにしていた方もご参照ください。 ■高温でのベーキング バルブ洗浄後の乾燥や固体材料供給時の高温プロセス等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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株式会社キッツエスシーティー
