［ED］電子回折法

最終更新日: 2023-04-20 10:51:08.0

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

・物質の結晶学的情報が得られます。
透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。
・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。
・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組み合わせることで、結晶性を有する物質を特定することも可能です。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/method/tabid/149/Default.asp…

基本情報

入射した電子が結晶の格子面に対してブラッグ条件を満たす角度となったとき、電子は弾性散乱されます。
散乱された電子は互いに干渉しあいますが、ブラッグ条件を満たした電子だけが特定の方向に回折波として強度を持ち、回折スポットを形成します。
透過光と複数の回折スポット間の位置関係を解析することで、試料の結晶構造に関する情報を得ることができます。

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用途／実績例	Siや化合物半導体、酸化物半導体、金属などの・結晶性評価・結晶構造の同定・結晶方位評価・結晶の配向性評価

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