［RBS］ラザフォード後方散乱分析法

最終更新日: 2016-02-18 11:48:26.0

固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です

RBSは固体試料にイオンビーム(H+,He++)を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。
散乱されたHeイオンの運動エネルギーを測定し、衝突した原子の質量数を調べることで分析サンプルの成分や層構造を評価することができます。

また、固体試料にHeイオンを入射して前方に散乱されたHイオンを測定することで、サンプル中の水素濃度を評価することも可能です。この測定手法が水素前方散乱分析HFS（Hydrogen Forward-Scattering Spectroscopy）です。反跳粒子検出法（ERDA：Elastic Recoil Detection Analysis）とも呼びます。

・BからUまでの元素の分析が可能(HFSによりHも可)
・標準試料を用いることなく定量分析が可能
・深さ方向の組成分布が得られる
・他手法で得られた膜厚情報より、密度の算出が可能
・重元素ほど感度がよく、精度が高くなる傾向にある
・非破壊分析

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基本情報

Heなどのイオンを加速して固体表面に照射すると、一部のイオンは試料中の原子によって弾性散乱されます。散乱イオンのエネルギーは衝突した原子の質量数と表面からの位置(深さ)に依存しますので、このエネルギーを分析することにより薄膜を構成する元素の同定と深さ方向の組成を調べることができます。定量に用いる散乱断面積や試料中のエネルギーロス(阻止能)などのデータの信頼性が高いため、標準試料を用いることなく深さ方向組成分析が可能です。

価格情報	測定対象によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください
用途／実績例	・構成元素の組成評価・注入量(ドーズ量)評価・密度評価

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