最終更新日:
2023-11-30 13:05:32.0
当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユニット』のご紹介
当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。
液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている
焼成ユニットを異業界に展開。
手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、
好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。
【特長】
■省スペース化
■低発塵対応
■高い温度再現性、面内温度均一性
■お客様のご要望に合わせた装置製作
【仕様】
■温度性能 ： 0-200℃
■温度精度 ： 150℃±3℃
■ワークサイズ ： 4～12インチウエハ
■方式 ： ホットプレート方式（基板支持：プロキピンorリフトピン）
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株式会社SCREENファインテックソリューションズ
