『マルチコータ LC-Mシリーズ』は、ナノレベルの薄膜から厚膜まで
各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能な
スリット式塗布装置です。
自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、
LD/ULDとのインターフェースに対応。
各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、
実験・少量生産に好適です。
【特長】
■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能
■高精度な塗布均一性を実現
■段取り替え不要
■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均一性を実現
■全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【基本仕様】
■塗布/塗工方式:スリットコータ(ダイコータ)
■対応薬液
・感光材料(レジスト)
・感光性絶縁膜
・PI(ポリイミド)
・ペロブスカイト
・インク
・各種コーティング材料
■対応基材:ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔
■対応基材サイズ:W300 x L300mm以上
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型番・ブランド名 | マルチコータ LC-Mシリーズ |
用途/実績例 | ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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株式会社SCREENファインテックソリューションズ