最終更新日:
2023-11-30 13:05:32.0
独自のギャップ機構と高速画像処理!オートアライメントシステムで多層露光が可能
『MA-1000シリーズ』は、多品種小ロット生産や実験・研究に好適な
手動式露光装置です。
ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。
また、用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、
特殊レンズを好適に組み合わせた光学系を準備いたします。
【特長】
■ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能
■独自のミラー・レンズ光学系を採用した面内均一照明
■多層露光が可能
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基本情報
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用途/実績例 | ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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